中微公司发布首款晶圆边缘刻蚀设备Primo <font color='#FF0000'>Halona</font>™， 刻蚀关键工艺全覆盖再进一步

新品快讯 | 中微晶圆边缘刻蚀设备Primo Halona


自主研发的12英寸晶圆边缘刻蚀设备Primo Halona™正式发布。中微公司此款刻蚀设备的问世，实现了在等离子体刻蚀技术领域的又一次突破创新，标志着公司向关键工艺全面覆盖的目标再进一步，也为公司的高质量发展注入强劲动能。 查看全文>>

标签：中微公司 晶圆边缘 刻蚀设备 Primo Halona 2025年03月27日
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